ホーク２００　３軸高精度測定顕微鏡

ホーク２００は高解像の光学ヘッドと高精度測定ステージで構成された、シンプルな３軸測定システムです。白や黒の樹脂製品など高解像なイメージが要求されるアップリケーションには最適です。

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ホーク２００

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ホーク２００
倍率	x10, x20*, x50, x100, x200, x400, x500, x1000
反射照明	１５０W６点リング照明１００WEPI（同軸）照明
透過照明	１００W透過照明
データ処理	QC-200* QC-300 QC-5000

*標準

高精度測定ステージ

１５０mmｘ１５０ｍｍ測定ステージ

２００mmｘ１５０ｍｍ測定ステージ

測定範囲

X
Y
粗動－移動範囲
微動－移動範囲

150mm
150mm
230mm
230mm

測定範囲

X
Y
粗動－移動範囲
微動－移動範囲

200mm
150mm
230mm
230mm

最大荷重－ガラスプレート

10kgs

最大荷重－ガラスプレート　

20kgs

エンコーダ分解能

X
Y
Z

0.001mm
0.001mm
0.0005mm

エンコーダ分解能

X
Y
Z

0.0005mm
0.0005mm
0.0005mm

測定ステージ繰返精度

X
Y
Z

0.002mm
0.002mm
0.008mm

測定ステージ繰返精度

X
Y
Z

0.002mm
0.002mm
0.008mm

測定精度

U₉₅2D = 4+(5.5L/1000)µm*

測定精度

U₉₅2D = 2+(4.5L/1000)µm*

大型測定ステージ

３００mmｘ２２５ｍｍ測定ステージ

４００mmｘ３００ｍｍ測定ステージ

測定範囲

X
Y
粗動－移動範囲
微動－移動範囲

300mm
225mm
90mm
50mm

測定範囲

X
Y
粗動－移動範囲
微動－移動範囲

400mm
300mm
90mm
50mm

最大荷重－ガラスプレート

25kgs

最大荷重－ガラスプレート

25kgs

エンコーダ分解能

X
Y
Z

0.001mm
0.001mm
0.001mm

エンコーダ分解能

X
Y
Z

0.001mm
0.001mm
0.001mm

測定ステージ繰返精度

X
Y
Z

0.010mm
0.010mm
0.010mm

測定ステージ繰返精度

X
Y
Z

0.010mm
0.010mm
0.010mm

測定精度

U₉₅2D = 15+(6.5L/1000)µm*

測定精度

U₉₅2D = 15+(8.5L/1000)µm*

* L=測定長ｍｍ（２００倍、測定室温度２０℃）

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