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ホーク３００画像・光学測定顕微鏡
ホーク３００は卓越した光学像と画像が組み合わされたフレキシブルであらゆるニーズに対応できる検査・測定システムです。
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仕様の詳細につきましては、最寄のヴィジョン・エンジニアリング販売店にお問合せください。
ホーク３００ |
倍率 |
x10, x20*, x50, x100, x200, x400, x500, x1000 |
反射照明 |
１５０W６点リング照明*
１００WEPI（同軸）照明
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透過照明 |
１００W透過照明 |
データ処理 |
QC-200
QC-300*
QC-5000
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* 標準
高精度測定ステージ |
倍率オプション |
x10, x20*, x50, x100, x200, x400, x500, x1000 |
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１５０mmｘ１５０ｍｍ測定ステージ
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２００mmｘ１５０ｍｍ測定ステージ
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測定範囲
X
Y
粗動−移動範囲
微動−移動範囲
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150mm
150mm
230mm
230mm
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測定範囲
X
Y
粗動−移動範囲
微動−移動範囲
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200mm
150mm
230mm
230mm
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最大荷重−ガラスプレート |
15kgs |
15kgs |
20kgs |
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エンコーダ分解能
X
Y
Z
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0.001mm
0.001mm
0.0005mm
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エンコーダ分解能
X
Y
Z
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0.0005mm
0.0005mm
0.0005mm
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測定ステージ繰返精度
X
Y
Z
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0.002mm
0.002mm
0.008mm
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測定ステージ繰返精度
X
Y
Z
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0.002mm
0.002mm
0.008mm
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測定精度 |
U952D = 4+(5.5L/1000)µm* |
測定精度 |
U952D = 2+(4.5L/1000)µm* |
大型測定ステージ |
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３００mmｘ２２５ｍｍ測定ステージ
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４００mm x ３００mm測定ステージ
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測定範囲
X
Y
粗動−移動範囲
微動−移動範囲
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300mm
225mm
90mm
50mm
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測定範囲
X
Y
粗動−移動範囲
微動−移動範囲
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400mm
300mm
90mm
50mm
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最大荷重−ガラスプレート |
25kgs |
最大荷重−ガラスプレート |
25kgs |
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エンコーダ分解能
X
Y
Z
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0.001mm
0.001mm
0.001mm
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エンコーダ分解能
X
Y
Z
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0.001mm
0.001mm
0.001mm
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測定ステージ繰返精度
X
Y
Z
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0.010mm
0.010mm
0.010mm
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Stage Repeatability
X
Y
Z
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0.010mm
0.010mm
0.010mm
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測定精度 |
U952D = 15+(6.5L/1000)µm* |
測定精度 |
U952D = 15+(8.5L/1000)µm* |
* L=測定長ｍｍ（２００倍、測定室温度２０℃）
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