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ホーク５０００高精度３軸測定顕微鏡

ホーク５０００は、PCベースのデータ処理装置、光学ヘッド、高精度測定ステージで構成されるパワフルな測定顕微鏡です。

0 Overview Details QC-5000 Technical

テクニカル

仕様の詳細につきましては、最寄のヴィジョン・エンジニアリング販売店にお問合せください。

ホーク５０００
倍率
x10, x20*, x50, x100, x200, x400, x500, x1000
反射照明
１５０W６点リング照明*
１００WEPI（同軸）照明
透過照明
１００W透過照明
データ処理
QC-200
QC-300
QC-5000*
* 標準

高精度測定ステージ
１５０mmｘ１５０ｍｍ測定ステージ
２００mmｘ１５０ｍｍ測定ステージ
測定範囲
X
Y
粗動−移動範囲
微動−移動範囲

150mm
150mm
230mm
230mm
測定範囲
X
Y
粗動−移動範囲
微動−移動範囲

200mm
150mm
230mm
230mm
最大荷重−ガラスプレート
15kgs
最大荷重−ガラスプレート
20kgs
エンコーダ分解能
X
Y
Z


0.001mm
0.001mm
0.0005mm
エンコーダ分解能
X
Y
Z


0.0005mm
0.0005mm
0.0005mm
測定ステージ繰返精度
X
Y
Z


0.002mm
0.002mm
0.008mm
測定ステージ繰返精度
X
Y
Z


0.002mm
0.002mm
0.008mm
測定精度
U952D = 4+(5.5L/1000)µm*
測定精度
U952D = 2+(4.5L/1000)µm*

大型測定ステージ
３００mmｘ２２５ｍｍ測定ステージ
４００mmｘ３００ｍｍ測定ステージ
測定範囲
X
Y
粗動−移動範囲
微動−移動範囲

300mm
225mm
90mm
50mm
測定範囲
X
Y
粗動−移動範囲
微動−移動範囲

400mm
300mm
90mm
50mm
最大荷重−ガラスプレート
25kgs
最大荷重−ガラスプレート
25kgs
エンコーダ分解能
X
Y
Z

0.001mm
0.001mm
0.001mm
エンコーダ分解能
X
Y
Z


0.001mm
0.001mm
0.001mm
測定ステージ繰返精度
X
Y
Z


0.010mm
0.010mm
0.010mm
測定ステージ繰返精度
X
Y
Z


0.010mm
0.010mm
0.010mm
測定精度
U952D = 15+(6.5L/1000)µm*
測定精度
U952D = 15+(8.5L/1000)µm*
* L=測定長ｍｍ（２００倍、測定室温度２０℃）





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