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ペレグリン300光学・画像測定システム
ペレグリン300は、高解像の光学ヘッドと簡単に素早い測定ができる画像測定機能を備えたフレキシブルな検査・測定システムです。
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ペレグリン300
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ペレグリン300
倍率
10倍、20倍*、50倍
反射照明
60Wスポットランプ*
150W リング照明
100WEPI(同軸照明)
透過照明
30W透過照明
データ処理装置
QC-200、QC-300*
*標準
測定ストローク
X
Y
150mm
100mm
最大荷重−ガラスプレート
10kg
エンコーダ分解能
X
Y
0.001mm
0.001mm
ステージの繰返精度
X
Y
0.005mm
0.005mm
測定の不確さ
U
95
2D = 7+(6.5L/1000)μm*
*L=測定長 mm(50倍、20℃にて測定)
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